Размер шрифта:
+
Цвет сайта:
Изображения:

Совместная работа учёных ТУСУР и специалистов из России, США и Германии позволит создать новый эталон в области полупроводниковых измерений

26 февраля 2015
В настоящее время в России не существует государственного эталона и метрологического института по измерениям на полупроводниковой пластине. При производстве и тестировании изделий наноэлектроники используется зарубежная эталонная база, качество которой подтверждается по косвенным признакам.

Задача исследовательского коллектива, в первую очередь, состоит в увеличении точности измерений, поскольку это необходимо в наноэлектронике, в условиях совершенствования технологии и перехода на более высокие частоты.

- Мы разработали и исследуем новый способ проверки точности измерений параметров полупроводниковых приборов на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц, - поясняет Александр Савин, начальник научного управления ТУСУР, член исследовательской группы. - Благодаря высокоточным измерениям, мы сможем самостоятельно провести независимую экспертизу образцов, претендующих на эталон, и определить лучший из них.

Однако производить сами эталоны коллектив не намерен. Практическим финалом работы может стать производство новой высокочастотной СВЧ-измерительной техники международного уровня. В состав коллектива, помимо учёных-исследователей из Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР), входят метрологи Национального института метрологии Германии (РТВ), специалисты по измерительным технологиям для наноэлектроники из Тайваня (MPI Corporation), а также представители предприятий, производящих измерительную технику: томской компании «НПК ТАИР», челябинской компании «Планар» и американской «Copper Mountain Technologies».

За основу оригинального подхода исследователи предложили взять достаточно изученные в России и за рубежом коаксиальные методы. Новшество состоит в том, что до настоящего времени никто не адаптировал эти методы для измерений на пластине. Такой подход при собственных наработках в этой области и в области создания специальных алгоритмов обработки информации, по мнению ученых ТУСУР, позволит измерять параметры быстрее и с минимальной погрешностью.

Верхняя частота, которую планируют освоить в процессе совместной работы представители исследовательского коллектива, - 110 ГГц. Для сравнения, новое поколение систем мобильной связи и передачи данных 5G будет работать в диапазоне около 28 ГГц. Однако, подчеркивают разработчики, точность контрольно-измерительной техники должна быть достаточно высокой для проведения исследований и создания на их основе новых техпроцессов.

- В конечном счёте, именно измерительная техника - быстрая и точная - является одним из основных звеньев, необходимых для разработки новой технологии, нового продукта: от усовершенствованного смартфона, планшета до современной радиолокационной станции, - говорит Александр Савин. - Измерительная техника должна существенно опережать создание новых «гаджетов». Ведь современные модели, с помощью которых создаётся, например, новый сотовый телефон или планшет, и от которых в конечном счёте зависит качество готового изделия, строятся именно на основе измерений.

Результаты своих исследований разработчики представляли в 2013 и 2014 году на профильных международных конференциях в Японии, Германии, США. По результатам научных мероприятий статьи авторского коллектива были опубликованы в сборниках трудов конференций, индексированных ведущими мировыми базами. Также на развитие проекта в феврале 2015 года Александр Савин получил грант Президента Российской Федерации среди молодых учёных в номинации «Технические и инженерные науки».

Другие новости

24 декабря 2018

Научному коллективу ТУСУРа присуждена правительственная награда за разработку уникальной системы безопасности.

25 декабря 2018

Представители ТУСУРа получили дипломы победителей всероссийского открытого конкурса студенческих работ в сфере пропаганды здорового образа жизни «Будь здоров» на церемонии награждения в Совете Федерации РФ в Москве.

22 января 2019

В Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники открыт приём заявок на участие в XIX Всероссийском конкурсе по информационной безопасности SIBINFO, который состоится 18 апреля.

17 января 2019

Студентов, аспирантов и молодых учёных ТУСУРа приглашают представить собственные проекты на выставке «Наука: открытый формат», которая состоится 1 февраля.