Программный комплекс моделирования процессов травления микро- и наноструктур

Описание

Программа нацелена на облегчение разработки новых плазменных процессов микро- и нанотехнологии. Также данное ПО можно применить для обучения студентов (виртуальные лабораторные работы и т. д.) и повышения квалификации работников в области нанотехнологий.

Разработанное программное обеспечение позволяет задавать произвольный начальный профиль структуры с помощью специальных встроенных средств (геометрическая конфигурация подложки, маски и т. д.), а также имеет удобный интерфейс для ввода параметров процесса травления (скорость, селективность, время и т. д.). Результат моделирования выводится в виде изображения профиля после процесса травления.

К настоящему времени на каждого жителя Земли произведено примерно 10 миллиардов кремниевых полевых транзисторов, которые входят в состав микросхем. Именно транзисторы являются самым массовым техническим изделием за всю историю человечества, обгоняя, к примеру, гвозди.

Технические характеристики

Тип операционной системы: Windows XP, 7, 10
Размер дискового пространства, занимаемого программой: 91,1 Мб
Отдельные окна для создания начального рельефа, выбора режима травления и моделирования
Возможность установки числа квантов, моделируемых методом Монте-Карло

Преимущества

Наличие дружественного оконного интерфейса
Возможность просмотра анимации процесса травления непосредственно в ходе расчёта модели
Возможность моделирования современных методов травления (Bosch-процесс)

Область применения

Виртуальные лабораторные работы
НИОКР в области изучения процессов травления

Правовая защита

Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2013618599. Программа для моделирования процессов травления микро- и наноструктур. Зарегистрировано в Реестре программ для ЭВМ 12 июня 2013 г.