Руководитель: Перин Антон Сергеевич, кандидат технических наук, доцент
Год создания лаборатории: 2022
Описание лаборатории
Лаборатория создана в рамках гранта Министерства науки и высшего образования Российской Федерации «Создание новых лабораторий, в том числе под руководством молодых перспективных исследователей» национального проекта «Наука и университеты».
Объектом исследования лаборатории являются интегрально оптические волноводы и элементы ввода оптического излучения на основе тонкоплёночных структур.
Основным научным направлением лаборатории является исследование и разработка способов изготовления интегральных оптических волноводов и элементов на их основе:
Продукция, производимая промышленностью, при производстве которой будет использован научный результат, достигаемый лабораторией:
Значимые результаты за период работы лаборатории
По итогам 2022 года предложены конфигурации и требуемые характеристики пассивных элементов, производство которых интересно в целях апробации разрабатываемой технологии. Обозначены задачи численного моделирования для оптимизации структур на базе интегральных оптических волноводов. Обозначены ссылки на методики исследования интегральных оптических волноводов и пассивных элементов на их основе. Получены результаты моделирования конструкций оптических волноводов и элементов ввода/вывода на основе тонких пленок Si3N4/SiO2. Для проведения дальнейших экспериментальных исследований и верификации разработанных моделей предложена к разработке вакуумная установка RF/DС магнетронного напыления для получения плёнок ниобата лития с требуемыми характеристиками, а также напыления дополнительных слоёв различных функциональных пленок (изоляторы, проводящие слои и т. д.) в едином процессе.
Сотрудничество с организациями реального сектора экономики
Промышленным партнёром лаборатории является ООО «Т8».