Размер шрифта:
+
Цвет сайта:
Изображения:

Лаборатория фотонных интегральных схем (ЛФИС)

Руководитель: Перин Антон Сергеевич, кандидат технических наук, доцент

Год создания лаборатории: 2022

Описание лаборатории

Лаборатория создана в рамках гранта Министерства науки и высшего образования Российской Федерации «Создание новых лабораторий, в том числе под руководством молодых перспективных исследователей» национального проекта «Наука и университеты».

Объектом исследования лаборатории являются интегрально оптические волноводы и элементы ввода оптического излучения на основе тонкоплёночных структур.

Основным научным направлением лаборатории является исследование и разработка способов изготовления интегральных оптических волноводов и элементов на их основе:

  1. исследование технологии, разработка конструкций и технологии изготовления пассивных оптических элементов тонкоплёночной интегральной фотоники (волноводов, делителей, резонаторов, элементов ввода – вывода) на основе тонких плёнок ниобата лития и структур Si3N4/SiO2 и AlGaAs/GaAs;
  2. развитие принципов создания малоразмерных интегральных оптических систем, микро- и нанорезонаторов, элементов и устройств нанофотоники и плазмоники.

Продукция, производимая промышленностью, при производстве которой будет использован научный результат, достигаемый лабораторией:

  1. интегрально-оптические пассивные компоненты: разветвители, резонаторы, поляризационные делители, оптические фильтры и интерферометры,
  2. интегрально-оптические модуляторы,
  3. интегрально-оптические сенсорные системы.

Значимые результаты за период работы лаборатории

По итогам 2022 года предложены конфигурации и требуемые характеристики пассивных элементов, производство которых интересно в целях апробации разрабатываемой технологии. Обозначены задачи численного моделирования для оптимизации структур на базе интегральных оптических волноводов. Обозначены ссылки на методики исследования интегральных оптических волноводов и пассивных элементов на их основе. Получены результаты моделирования конструкций оптических волноводов и элементов ввода/вывода на основе тонких пленок Si3N4/SiO2. Для проведения дальнейших экспериментальных исследований и верификации разработанных моделей предложена к разработке вакуумная установка RF/DС магнетронного напыления для получения плёнок ниобата лития с требуемыми характеристиками, а также напыления дополнительных слоёв различных функциональных пленок (изоляторы, проводящие слои и т. д.) в едином процессе.

Сотрудничество с организациями реального сектора экономики

Промышленным партнёром лаборатории является ООО «Т8».

НАВЕРХ