В ТУСУРе запатентовано устройство для создания тонкопленочных покрытий в микроэлектронике аэрозолем
В ТУСУРе получен патент на изобретение «Устройство для распыления аэрозольной смеси», соавтором которого является студент, обучающийся по направлению «Конструирование и технология электронных средств».
Работа по созданию новой технологии аэрозольного нанесения материалов в микроэлектронике стартовала в ТУСУРе в 2020 году в рамках ГПО (групповое проектное обучение).
«Применение аэрозольного способа нанесения материалов в микроэлектронике требует высокой точности: нежелательно, чтобы диаметр пучка превышал 50 микрометров. Перед участником группы ГПО, студентом кафедры РЭТЭМ Дмитрием Жаворонковым была поставлена задача создания устройства, способного формировать аэрозольный поток в очень концентрированной форме, без распыления», - рассказывает научный руководитель студента, профессор, заведующий кафедрой РЭТЭМ Василий Туев.
Нанесение мелкодисперсного состава с растворенными материалами с помощью аэрозоля позволяет добиваться формирования плёнок нужной толщины, начиная от нанометровых значений.
«Диапазон вязкости материалов при аэрозольном способе нанесения гораздо шире, чем этот параметр в известных технологиях. Пьезоэлектрический дозатор подразумевает использование материалов со значением вязкости в диапазоне от 8 до 15 сантипуаз. Принтеры, использующие густые материалы, работают со значениями 500-1500 сантипуаз. А аэрозольный принцип нанесения позволяет использовать составы с вязкостью широкого диапазона от 10 до нескольких тысяч сантипуаз», - рассказывает о преимуществах метода Василий Туев.
Дмитрием Жаворонковым под руководством научного руководителя разработана и запатентована оригинальная конструкция дозирующего устройства для распыления аэрозольной смеси. Дозатор позволяет нанести проводящие дорожки (создать аналог печатной платы) не только на плоской, но и на развитой поверхности (например, внутренней поверхности сферы), что невозможно при использовании других технологий нанесения. Эта особенность аэрозольного способа нанесения материалов в микроэлектронике особенно востребована при решении задач миниатюризации устройств.
«Новая технология открывает возможности применения иных принципов конструирования печатных узлов: когда печатная плата, которая сейчас используется, исключается полностью, а формирование проводящих дорожек осуществляется прямо на корпусе изделия», - поясняет профессор.
Запатентованное устройство станет частью пятикоординатного принтера для нанесения проводящих дорожек на сложных поверхностях.
https://youtu.be/QQOBMBibxhU
Другие новости
Исследователи лаборатории печатной электроники ТУСУР создали с помощью принтера образец изделия из литиевого феррита. Ферритовая керамика широко используется в электронике и СВЧ-технике. Аддитивный метод производства феррита позволит получать изделия сложной формы в отличие от традиционных методов получения изделий из феррита, например, прессования.
Проект выпускника ТУСУРа «Разработка технологии изготовления пассивных элементов микрополосковых плат с воздушными мостовыми соединениями методами магнетронного распыления и гальванического осаждения» получил поддержку программы «УМНИК» ФСИ.
Лаборатория интегральной оптики и радиофотоники Томского госуниверситет систем управления и радиоэлектроники в 2024 году приступила к разработке отечественной оптической приставки к векторному анализатору цепей. Осенью текущего года планируется завершить макет, в 2025-2026 годах — получить готовое устройство.
В рамках Недели квантовых технологий представители Российского квантового центра познакомились с разработками университета в области квантовых технологий, радиофотоники и СВЧ-микроэлектроники, посетив Передовую инженерную школу ТУСУР им. А.В. Кобзева.
