Как в ТУСУР создают элементы наноэлектроники узнал во время визита в университет губернатор Томской области

Для того, чтобы увидеть технологический процесс изготовления наногетероструктурных интегральных схем воочию, губернатору пришлось переодеться в специальный костюм - обязательный для инженера-технолога, находящегося в чистом помещении НОЦ «Нанотехнологии». Защитный комплект одежды необходим для работы с наноэлементами электронных схем, потому что повредить их могут даже микроскопические частицы, которые присутствуют на теле и одежде человека.

Сергей Жвачкин с интересом выслушал сотрудников НОЦ «Нанотехнологии», которые рассказали об основных технологических операциях изготовления интегральной микросхемы, оборудовании, используемом для работы в центре. Кроме того, с помощью микроскопа, глава региона смог ближе рассмотреть готовый продукт - схему с точностью изготовления элементов в 17 нанометров (для сравнения: это в пять тысяч раз меньше толщины человеческого волоса).

Помимо технологического участка, губернатору показали измерительный участок, где осуществляется контроль качества и измерения параметров готовых интегральных схем, изготовленных в НОЦ ТУСУР. Чуть раньше, в ходе визита в университет Сергей Жвачкин посетил дизайн-центр ТУСУР по проектированию СВЧ интегральных схем.

Как сообщил директор НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР Дмитрий Зыков, в ближайшее время к уже работающим участкам, которые посетил губернатор, добавится ещё как минимум один: в 2016 году планируется запустить участок высокопроизводительной фотолитографии. Это позволит расширить спектр перспективных исследований и разработок для создания отечественной электронной компонентной базы нового поколения. Таким образом, подчеркнул Дмитрий Зыков, ТУСУР продолжит развитие центра в сфере оказания инжиниринговых услуг по проектированию и прототипированию изделий гетероструктурной наноэлектроники. 

_______________________________________________________________________________________

НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР был открыт в 2009 году. В настоящее время специалисты центра по заказам и в сотрудничестве с предприятиями-партнёрами занимаются разработкой и созданием конкурентоспособной элементной базы для электронной промышленности, отраслей связи и телекоммуникаций. На базе центра реализуются уникальные образовательные программы подготовки и переподготовки специалистов для российских электронных компаний, осваивающих новые технологии или планирующих их внедрение. Совместно с индустриальным партнёром - АО НПФ «Микран» - специалисты НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР прорабатывают перспективную технологию изготовления силового нитрид-галлиевого транзистора с медной металлизацией. Данная разработка, не имеющая российских аналогов, в 2015 году вошла в число победителей конкурса «Зелёный чип» за лучшее энергоэффективное решение в микроэлектронике.