Размер шрифта:
– +
Цвет сайта:
Изображения:
☷

В ТУСУРе разработали интегральный оптический модулятор для сферы телекоммуникаций

17 февраля 2025
В ТУСУРе разработали интегральный оптический модулятор для сферы телекоммуникаций

В Томском госуниверситете систем управления и радиоэлектроники в 2025 году запатентован интегральный электрооптический модулятор по схеме интерферометра Маха-Цендера на основе тонкопленочного ниобата лития на изоляторе, нагруженного нитридом кремния.

Компактные, быстродействующие и энергоэффективные электрооптические модуляторы особенно востребованы в сфере телекоммуникаций. Современные сети передачи данных требуют всё больших скоростей обработки сигналов. Разработанная в ТУСУРе технология позволит создавать более эффективные решения для оптической связи.

«Электрооптический модулятор – это устройство, которое позволяет управлять оптическим сигналом с помощью электрического поля, ­– рассказывает соавтор патента, инженер лаборатории фотонных интегральных схем (ЛФИС) передовой инженерной школы (ПИШ) ТУСУРа Аян Мырзахметов. - В основе предложенного решения – тонкоплёночный монокристалл ниобата лития, обладающий выдающимися линейными и нелинейными оптическими свойствами. Такие устройства используются для модуляции света в оптоволоконных системах связи и квантовых технологиях».

Основная проблема тонкоплёночного ниобата лития заключается в сложности его технологической обработки. На сегодняшний день стандартным методом изготовления оптических структур является плазмохимическое травление, но для ниобата лития этот процесс сопровождается неконтролируемым формированием дефектов, что снижает эффективность готовых устройств. В ТУСУРе нашли решение, которое позволяет избежать этих проблем.

«Вместо травления непосредственно ниобата лития в технологическом процессе используется дополнительный слой нитрида кремния, для которого технологический процесс обработки менее сложен, - поясняет инженер ЛФИС ПИШ ТУСУРа Аян Мырзахметов. - Это позволяет значительно повысить стабильность производства и качество фотонных интегральных схем (ФИС) на основе ниобата лития».

Работа над патентом шла параллельно с магистерской диссертацией Аяна Мырзахметова: ее результаты легли в основу патента. Также в команду, работавшую над проектом, вошли инженер лаборатории Ангелина Гуляева и старший научный сотрудник ЛФИС Иван Кулинич, который выступил в качестве консультанта.    

Авторы патента уверены, что технологии интегральных схем на основе тонкоплёночного ниобата лития – это важный шаг в развитии современной фотоники. В будущем команда планирует дальнейшие исследования в этой области, включая оптимизацию технологии создания волноводных структур, тестирование новых материалов и интеграцию подобных решений в реальные системы оптической связи.

Помимо этого, такие модуляторы могут найти применение в квантовой криптографии, где требуется точное управление световыми сигналами, а также в перспективных нейроморфных вычислениях, имитирующих работу нейронных сетей с помощью фотонных процессоров. Возможность интеграции с различными фотонными платформами открывает дорогу к использованию в медицинской диагностике, лазерных системах и даже оптических сенсорах для автономных транспортных средств.

  • А – Поле оптического излучения в нагруженном SiN волноводе на ниобате лития
Б – Фотография с электронно-лучевого микроскопа волновода, полученного в НОЦ «Нанотехнологии»
В – Макет внешнего вида электрооптического модулятора по схеме интерферометра Маха – Цендера

Другие новости

25 сентября 2026

На секциях Школы молодых ученых, которая стала одним из значимых мероприятий форума «Микроэлектроника 2026», молодые исследователи ТУСУРа представили результаты своей научной деятельности.

22 октября 2026

«Я не умею ничего не делать»

20 октября 2026

В ТУСУРе с 2022 года работает молодёжная лаборатория проектирования радиочастотных интегральных систем и систем на кристалле. Она была создана на грантовые средства Минобрнауки РФ в рамках конкурса молодёжных лабораторий, а в 2025 году получила продление - теперь её работа рассчитана до конца 2027-го.

30 июля 2026

Направо пойдешь – в науку попадешь, налево – карьеру обретешь. Когда любая дорога ведет к успеху.

НАВЕРХ