ТУСУР получил грант от Минобрнауки на закупку оборудования для развития микроэлектроники

На эти средства ТУСУР закупает оборудование для дооснащения ключевых подразделений объединённого ЦКП: научно-образовательного центра «Нанотехнологии», НИИ микроэлектронных систем и лаборатории печатной электроники, которые занимаются дизайном, разработкой и изготовлением изделий микроэлектроники, СВЧ-измерениями, а также созданием материалов и устройств для печатной электроники.

«Университет приобрёл уникальное измерительное оборудование – векторный анализатор цепей с возможностью анализа характеристик СВЧ-устройств в диапазоне частот до 67 ГГц, высокочастотный осциллограф с полосой пропускания 13 ГГц. Введены в эксплуатацию установки синтеза и анализа материалов для печатной электроники: порошков субмикронной дисперсности и функциональных композиций на их основе. В ближайшее время планируется приобретение системы плоттерной печати, позволяющей выполнять изготовление СВЧ-узлов и элементов аддитивным способом», – сообщил проректор по научной работе и инновациям ТУСУРа Антон Лощилов.

Помимо этого, в рамках гранта уже приобретено оборудование для дооснащения НОЦ «Нанотехнологии» на сумму порядка 60 миллионов рублей. По словам директора центра Евгения Шестерикова, были закуплены установка быстрого термического обжига, которая необходима для вжигания напылённых слоёв для создания низкоомных контактов с полупроводниковыми слоями; установка плазмохимического травления для создания рельефа на полупроводниковых структурах и травления напылённых диэлектриков и металлов; установка плазмохимического осаждения, с помощью которой формируют диэлектрические слои на полупроводниковой пластине. Всё оборудование – российского производства.

По его словам, интерес к такой разработке и параллельной подготовке кадров высказали представители ряда российских предприятий, в том числе входящих в холдинг «Росэлектроника».

Для полноценного запуска нового оборудования в настоящее время идёт модернизация так называемых «чистых» помещений НОЦ и увеличение их площади, подводятся инженерные коммуникации. Планируется, что в обновлённом режиме центр начнёт работать в сентябре 2020 года.

ТУСУР планирует создать многопрофильный Центр микроэлектронных систем – проект в 2019 году получил поддержку в Совете Федерации. Его главная цель – обеспечить адресную подготовку дизайнеров и технологов в области наноэлектроники, радиофотоники, а также осуществлять разработку отечественной электронной компонентной базы мирового уровня. Центр позволит объединить имеющиеся в ТУСУРе профильные подразделения, а также создать дизайн-центр по проектированию систем на кристалле и 3D-модулей, учебную фабрику по наноэлектронике и радиофотонике и др.