Ученые ТУСУРа разработали плазменный источник ленточного пучка электронов
В Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники прошел конкурс проектов «Патентной активности ТУСУР-2023», в котором приняли участие студенты и молодые ученые. Одним из победителей стал проект «Форвакуумный плазменный источник ленточного пучка электронов, функционирующий в широком диапазоне рабочих давлений»
Полезная модель относится к области плазменной техники и может быть применена при разработке устройств для пучково-плазменной обработки поверхностей большой площади. Такая обработка позволяет проводить в более щадящем режиме очистку поверхности от загрязнений и окислов, изменять химическую активность поверхности для создания определенных функциональных свойств, изменять электрические, оптические или механические свойства поверхности.
«Предлагаемая полезная модель плазменного источника ленточного пучка может быть полезна в исследованиях, связанных с формированием плазменных образований большой площади, инициирования пучково-плазменного разряда. Концентрация плазмы в таком разряде на порядок превышает концентрацию плазмы при обычных условиях распространения электронного пучка и может быть использована для инициирования плазмохимических реакций. Широкий диапазон рабочих давлений разработанного источника позволяет получать пучковую плазму с контролируемым составом и параметрами, и это существенно расширяет области ее использования – от травления тонких моноатомных слоев, до очистки и подготовки поверхностей перед нанесением покрытий», – рассказал ведущий научный сотрудник лаборатории пучково-плазменной модификации диэлектриков Александр Климов.
В целом, обработка поверхности плазменными источниками электронов представляет собой многообещающий метод для модификации свойств материалов и инициирования различных поверхностных процессов, которые могут быть применены в технологиях микро и наноэлектроники.
«Основными целями дальнейших исследований являются обеспечение стабильного функционирования разрабатываемого плазменного источника ленточного электронного пучка, а также отработка режимов пучково-плазменного воздействия на конкретные материалы с целью изменения их поверхностных свойств», – уточнил Александр Климов.
Другие новости
В ТУСУРе разрабатывают технологию электронно-лучевого метода управления поверхностной пористостью керамики из диоксида циркония 3YSBE для задач протезирования.
Более 60 докладов было представлено на секции «IT-технологии и электроника» XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Перспективы развития фундаментальных наук», которая прошла в Томском госуниверситете систем управления и радиоэлектроники.
С 27 по 30 августа в Новосибирске проходит Международный форум и выставка технологического развития «ТЕХНОПРОМ» — крупнейшее технологическое мероприятие в России, основной целью которого является продвижение отечественных научных разработок и инноваций.
В международном научно-техническом журнале Optics Letters издательства Optica Publishing Group опубликована статья, одним из соавторов которой является к.т.н., заведующий лабораторией фотонных интегральных схем (ЛФИС) передовой инженерной школы «Электронное приборостроение и системы связи» им. А.В. Кобзева, доцент каф. СВЧиКР ТУСУРа Антон Перин.
