Научно-образовательный центр «Нанотехнологии» (НОЦ НТ)

НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУРа основан в 2008 году в рамках национальной нанотехнологической сети и обладает уникальным оборудованием для проектирования и прототипирования изделий наноэлектроники. На его основе ведётся создание электронной компонентной базы нового поколения с последующим освоением производства на предприятиях-партнёрах.

Одной из главных задач НОЦ «Нанотехнологии» является проведение передовых научных исследований в области СВЧ-наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов. В круг обязанностей центра также входит подготовка и переподготовка кадров высшей квалификации и специалистов в выше перечисленных областях.

В рамках своих исследований НОЦ «Нанотехнологии» занимается разработкой технологий изготовления гетероструктурных СВЧ МИС, разработкой методов измерения параметров гетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов, созданием библиотек моделей элементов СВЧ МИС, разработкой программного обеспечения для автоматизированного проектирования СВЧ-устройств и управления измерительными комплексами, разработкой на базе MESFET-, pHEMT- и mHEMT-технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения.

Разработки НОЦ «Нанотехнологии»

1. Совместно с ИСВЧПЭ РАН и НПФ «Микран» в 2007 году на базе 0,15 мкм GaAs pHEMT-технологии разработана и изготовлена первая в России опытная партия гетероструктурных монолитных малошумящих усилителей (МШУ) диапазона 6-12 ГГц, используемого для АФАР в авионике.
2. Совместно с ИСВЧПЭ РАН в 2008 году на базе 0,13 мкм GaAs pHEMT-технологии разработан первый в России комплект гетероструктурных монолитных МШУ диапазона 6-12 ГГц, параметры которых находятся на уровне лучших зарубежных аналогов (коэффициент шума 1,4-1,6 дБ).
3. Совместно с ИСВЧПЭ РАН в 2009 году на базе 0,13 мкм GaAs mHEMT-технологии изготовлен первый в России гетероструктурный монолитный МШУ миллиметрового диапазона волн (30-37 ГГц).
4. В 2010 году выполнена разработка образовательной программы переподготовки и УМК, ориентированной на потребности проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области промышленного производства конкурентоспособных наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов при финансовой поддержке ГК «РОСНАНО».
5. Совместно с НПФ «Микран» в 2010 – 2012 годах разработаны технологические процессы производства GaAs и GaN СВЧ-гетеротранзисторов с высокой подвижностью электронов, предназначенные для производства специализированных СВЧ GaAs- и GaN-монолитных интегральных схем для использования в системах фиксированной связи и беспроводного широкополосного доступа (ШБД) стандарта WiMax IEEE 802.16d и IEEE 802.16e, высокотехнологичной многоканальной РЛС с высоким разрешением по дальности, контрольно-измерительной аппаратуры СВЧ с диапазоном частот до 50 ГГц.
6. 2012 – 2015 годах совместно с ЗАО «НПФ «Микран»» ведутся работы по созданию микросхем СВЧ для применения в радарах миллиметрового диапазона.
7. В рамках Европейской программы INTAS выполнено нескольких международных проектов. Проекты направлены на совместную разработку СВЧ МИС с экстремальными характеристиками для применения в области космических и радиоастрономических исследований, а также на создание методов и программного обеспечения для автоматизированного проектирования СВЧ МИС.
8. Совместно с XLIM и CNES (Франция) разработан монолитный МШУ диапазона 27-31 ГГц с рекордно низким коэффициентом шума (1,7 дБ) и фильтрующими функциями, что позволило улучшить характеристики системы космической связи (0,1 мкм GaAs mHEMT технология фирмы OMMIC, Франция).
9. Совместно с ASTRON (Голландия) по этой же технологии разработан монолитный МШУ диапазона 0,3-1,2 ГГц для гигантского радиотелескопа, который строится в рамках Европейского проекта SKADS.

Отечественные организаторы-партнёры НОЦ «Нанотехнологии»

1. ЗАО «НПФ «Микран»» (Томск)
2. ФГУП «НИИПП» (Томск)
3. ИСВЧПЭ РАН (Москва)
4. РОСНАНО, Фонд инфраструктурных и образовательных программ РОСНАНО

Зарубежные организаторы-партнёры НОЦ «Нанотехнологии»

1. Исследовательский институт СВЧ- и оптической связи XLIM при Лиможском университете (Лимож, Франция)
2. Французское космическое агентство CNES (Тулуза, Франция)
3. Голландский астрономический центр ASTRON (Двингелоо, Нидерланды)
4. Фирма OMMIC (Орсэ, Франция)
5. Фирма Applied Wave Research (США)