Размер шрифта:
+
Цвет сайта:
Изображения:

Специалисты НОЦ «Нанотехнологии» получили экспериментальные образцы транзисторов, созданных по новой технологии

28 июня 2017
Специалисты НОЦ «Нанотехнологии» получили экспериментальные образцы транзисторов, созданных по новой технологии

На новом участке научно-образовательного центра (НОЦ) «Нанотехнологии» Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники проводится опытно-технологическая работа по созданию собственной технологии c использованием высокопроизводительной фотолитографии – базового технологического процесса для изготовления интегральной схемы с заданными характеристиками.

Полученные таким образом интегральные схемы будут использоваться АО «НПФ "Микран"» в создании оборудования для авионики, систем радиолокации и связи. Новая технология позволит увеличить точность и производительность работы в несколько десятков раз.

Монолитная интегральная схема на основе арсенида галлия (GaAs МИС) – одна из важных составляющих электронной компонентной базы. Новая технология позволяет мультиплицировать элементы интегральной схемы с помощью фотошаблона на полупроводниковую пластину на специальной установке проекционной фотолитографии.

«В случае электронно-лучевой литографии, которой занимаются специалисты функционирующего уже несколько лет участка в НОЦ, электронный луч «рисует» каждый элемент схемы по всей пластине. Процесс создания рисунка на одной пластине может занять сутки, – пояснил директор НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУРа Дмитрий Зыков. – Технология проекционной фотолитографии является высокопроизводительной и позволяет за несколько десятков секунд «зарисовать» всю площадь пластины».

Отработка технологии в настоящее время ведётся на новом участке НОЦ «Нанотехнологии». В 2016 году для этих целей сюда поступила специальная установка. Как пояснили в центре, готовых решений для такого оборудования нет, поэтому перед специалистами стоит задача научиться «рисовать» на ней, настроить все необходимые параметры и задать программу работы.

Дмитрий Зыков, директор НОЦ «Нанотехнологии»

Особенность в том, что здесь фотошаблон содержит более крупный по размеру чип или небольшую группу чипов, которые проецируются на полупроводниковую пластину с уменьшением масштаба в 5 раз. В новую установку можно загрузить несколько фотошаблонов разных слоёв топологии МИС, она их спроецирует на одну пластину по заданной программе, автоматически совмещая слои между собой, таким образом, повышается точность взаимного расположения элементов МИС. Засветка одного чипа занимает доли секунды. Это даёт увеличение производительности.

Ещё один плюс собственной технологии – в её управляемости, возможности настройки под определённые необходимые задачи.

В настоящее время специалисты НОЦ «Нанотехнологии» создают опытные образцы элементов интегральных схем.

По словам директора НОЦ «Нанотехнологии», в настоящее время работы находятся на стадии изготовления тестового транзистора – основного активного элемента интегральной схемы, определяющего её параметры. Экспериментальные образцы таких транзисторов уже получены.

Материалы по теме

01 октября 2018

ТУСУР в консорциуме вузов и предприятий приступил к совместному созданию малоразмерных космических аппаратов для отработки функционирования роя спутников на космической орбите.

26 сентября 2018

Программа «Технология электронных средств» ТУСУРа прошла профессионально-общественную аккредитацию в ГК «Роскосмос».

02 октября 2018

Стажировка на предприятии, совмещение обучения с работой на высокотехнологичном производстве наукоёмкого бизнеса – те принципы практикоориентированности в магистратуре, которые особенно важны для будущих выпускников. Для решения этой задачи вузу необходимо тесно взаимодействовать с работодателем, что достаточно сложно реализуется на практике, поэтому зачастую в вузах магистратура больше ориентирована на исследования. Вектор движения ТУСУРа направлен на сохранение и развитие в техническом университете практической составляющей образовательного процесса, в том числе развивая и расширяя круг предприятий-партнёров для совместной подготовки конкурентоспособных кадров.

20 сентября 2018

Центр компетенций НТИ на базе МИЭТ – «Технологии сенсорики», основным партнёром которого выступает ТУСУР, будет готовить специалистов по «цифровым органам чувств».