Размер шрифта:
+
Цвет сайта:
Изображения:

Учёные ТУСУРа разрабатывают систему контроля техпроцессов полупроводникового производства для увеличения производительности

09 июля 2019
Учёные ТУСУРа разрабатывают систему контроля техпроцессов полупроводникового производства для увеличения производительности

Учёные Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники разрабатывают интеллектуальную систему контроля технологических процессов полупроводникового производства на основе методов машинного обучения. Это поможет увеличить производительность в электронной промышленности, сообщается на Инновационном портале Томской области.

В настоящее время для контроля качества проведения любого технологического процесса массового производства микроэлектроники из партии проверяют одну–две подложки. Если технология стабильна, на остальных результат должен быть тем же самым. Однако когда размер элементов на подложке уменьшается, даже незначительные отклонения становятся критическими, и возникает необходимость контроля всех подложек.

«Наше решение позволяет отслеживать отклонения техпроцесса от заданной технологии в режиме онлайн. С помощью датчиков собирается информация о процессе обработки текущей пластины, и далее определяется контролируемый параметр, величина которого наиболее критична для данного техпроцесса. По величине данного параметра мы определяем, следует ли вносить корректировки в техпроцесс или нет», – цитирует слова магистра кафедры физической электроники ТУСУРа Артёма Попова портал inotomsk.ru.

В разработке используются методы машинного обучения: алгоритм на языке программирования обучает модель, которая предсказывает результат проведения техпроцесса по данным с датчиков технологической установки. Во время обработки пластины датчики измеряют множество параметров техпроцесса: давление, температуру, скорости потоков газов и так далее, – это входные данные. Для контрольных подложек на участке метрологии измеряют критический параметр, например, толщину напылённой плёнки.

«Мы можем обучить модель по входным и выходным данным, применяя современные алгоритмы машинного обучения. Далее, если в эту модель ввести данные с датчиков, она предскажет значение критических параметров для каждой подложки, и мы сможем контролировать все изделия в партии», – поясняет Артём Попов.

Интеллектуальная система контроля с машинным обучением может использоваться на любом полупроводниковом производстве, где массово обрабатываются полупроводниковые пластины. Контроль всех пластин обеспечит значительную экономию времени и повышение процента выхода годных изделий.

«Сложность – в том, что каждый техпроцесс уникален: если меняются характеристики установки, нужно менять и модель. Если получится сделать систему, в которую просто дают данные, и она обучается – неважно, какой техпроцесс, – это будет прорыв», – рассказал Артём Попов.

Проект поддержан программой «УМНИК», и на первом этапе разработчики уже сделали поведенческие модели, которые с высокой точностью предсказывают результат техпроцесса. Научными консультантами проекта выступает компания 50ohm Technologies.

Другие новости

17 сентября 2020

Разработка позволит избежать неточностей при измерении температуры тела, вызванных разницей поверхностной и внутренней температур.

08 сентября 2020

ТУСУР и ОАО «Манотомь» представили на международном военно-техническом форуме «Армия – 2020» специализированный программно-аппаратный комплекс для контроля и управления технологическими процессами производства типа «городской водоканал».

11 сентября 2020

До 24 сентября подать заявку на обучение в 2020/2021 учебном году могут как студенты ТУСУРа, так и обучающиеся в других вузах Томска.

09 сентября 2020

Интеллектуальный прожектор сможет использоваться в качестве основного источника света водным транспортом в условиях тумана, дождя, снегопада, дымки от лесных пожаров.