Размер шрифта:
+
Цвет сайта:
Изображения:

Учёные ТУСУРа разрабатывают систему контроля техпроцессов полупроводникового производства для увеличения производительности

09 июля 2019
Учёные ТУСУРа разрабатывают систему контроля техпроцессов полупроводникового производства для увеличения производительности

Учёные Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники разрабатывают интеллектуальную систему контроля технологических процессов полупроводникового производства на основе методов машинного обучения. Это поможет увеличить производительность в электронной промышленности, сообщается на Инновационном портале Томской области.

В настоящее время для контроля качества проведения любого технологического процесса массового производства микроэлектроники из партии проверяют одну–две подложки. Если технология стабильна, на остальных результат должен быть тем же самым. Однако когда размер элементов на подложке уменьшается, даже незначительные отклонения становятся критическими, и возникает необходимость контроля всех подложек.

«Наше решение позволяет отслеживать отклонения техпроцесса от заданной технологии в режиме онлайн. С помощью датчиков собирается информация о процессе обработки текущей пластины, и далее определяется контролируемый параметр, величина которого наиболее критична для данного техпроцесса. По величине данного параметра мы определяем, следует ли вносить корректировки в техпроцесс или нет», – цитирует слова магистра кафедры физической электроники ТУСУРа Артёма Попова портал inotomsk.ru.

В разработке используются методы машинного обучения: алгоритм на языке программирования обучает модель, которая предсказывает результат проведения техпроцесса по данным с датчиков технологической установки. Во время обработки пластины датчики измеряют множество параметров техпроцесса: давление, температуру, скорости потоков газов и так далее, – это входные данные. Для контрольных подложек на участке метрологии измеряют критический параметр, например, толщину напылённой плёнки.

«Мы можем обучить модель по входным и выходным данным, применяя современные алгоритмы машинного обучения. Далее, если в эту модель ввести данные с датчиков, она предскажет значение критических параметров для каждой подложки, и мы сможем контролировать все изделия в партии», – поясняет Артём Попов.

Интеллектуальная система контроля с машинным обучением может использоваться на любом полупроводниковом производстве, где массово обрабатываются полупроводниковые пластины. Контроль всех пластин обеспечит значительную экономию времени и повышение процента выхода годных изделий.

«Сложность – в том, что каждый техпроцесс уникален: если меняются характеристики установки, нужно менять и модель. Если получится сделать систему, в которую просто дают данные, и она обучается – неважно, какой техпроцесс, – это будет прорыв», – рассказал Артём Попов.

Проект поддержан программой «УМНИК», и на первом этапе разработчики уже сделали поведенческие модели, которые с высокой точностью предсказывают результат техпроцесса. Научными консультантами проекта выступает компания 50ohm Technologies.

Другие новости

04 июня 2020

НИУ «МИЭТ», с которым ТУСУР работает в рамках регионального центра компетенций НТИ по направлению «Сенсорика», получил грант в размере 300 миллионов рублей на реализацию программы ЛИЦ «Доверенные сенсорные системы».

29 июня 2020

Рой малых космических аппаратов может отправиться покорять ближний космос уже через два года.

23 июня 2020

Они будут бороться за право принять участие в российско-китайской премии индустриальных инноваций INNOVATION AWARDS с призовым фондом 3 миллиона рублей.

03 июня 2020

В ТУСУРе разрабатывают сверхкомпактный живучий канистровый свет, способный обеспечить свет и подогрев костюма дайвера даже в условиях погружения в арктических водах.